产品介绍
晶体硅片制绒工艺中,受到刻蚀时间、化学液体和刻蚀点分布等多重影响,我们设计了三维微观演示制绒全过程的仿真工具,让学生直观了解制绒的微观形态和各因素对制绒结果的影响。
场景设计
虚拟场景主要由硅片微观结构组成;
互动设计
可以设置的参数有:刻蚀类型、刻蚀速度、刻蚀点分布
参数设置好后,点击开始模拟,硅表面开始生成动态腐蚀出该参数对应形态的绒面结构。
通过更改参数和拉动时间进度条,查看某一时间点的绒面形态
使用鼠标左键可以手动设置腐蚀点,用鼠标右键拖动硅片进行全方位观测。
教学内容
产品介绍
晶体硅片制绒工艺中,受到刻蚀时间、化学液体和刻蚀点分布等多重影响,我们设计了三维微观演示制绒全过程的仿真工具,让学生直观了解制绒的微观形态和各因素对制绒结果的影响。
场景设计
虚拟场景主要由硅片微观结构组成;
互动设计
可以设置的参数有:刻蚀类型、刻蚀速度、刻蚀点分布
参数设置好后,点击开始模拟,硅表面开始生成动态腐蚀出该参数对应形态的绒面结构。
通过更改参数和拉动时间进度条,查看某一时间点的绒面形态
使用鼠标左键可以手动设置腐蚀点,用鼠标右键拖动硅片进行全方位观测。
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