硅材料VR虚拟仿真系统-直拉单晶炉虚拟仿真系统

直拉单晶炉虚拟仿真系统介绍

• 课程场景及道具整体采用三个1：1，即1：1建模； 1：1 仿真；1：1“解剖式”教学方式

• 即在虚拟仿真的环境下，学员犹如身临其境，可自由360°无死角自由体验设备操作，流程演示，原理讲解，直观感受设备设备运行及工作原理等

• 课程可按不用使用者及使用场景，分配不用的操作权限及操作模式

• 教师教学模式

• 学员学习模式

• 课程分布式管理，课程除了可以在课堂上学习，学员也可以在笔记本等移动计算工具上，在课余时间继续学习。并且教师可以指定学员学习哪些课程，进入哪些模式，做到每个人针对性练习。

• 直拉单晶方法

• 拉晶法

• 直拉法 （切克劳斯基法、CZ法）：利用旋转着的籽晶

• 从坩埚中的溶液提拉制备出单晶的方法

• 通过对拉晶核心生产设备，1：1建模（针对核心部件内部结构建模）； 主要生产流程、原理，Unity动画展示；核心设备1：1“解剖式”模型展示。即：可在虚拟环境下自由拆解设备设备，观察设备结构，也可在设备运行的状态下自由观察设备内部的运行状态以及工作原理。

  

• 硅材料VR虚拟仿真系统仿-直拉单晶炉实验系统（混仿）

• 直拉单晶炉仿真模型动态演示流程：开机后主炉室（剖面结构）灯光被点亮模拟加热，钳埚升降系统缓慢上升、晶棒缓慢拉出来，晶棒到达上炉筒（剖面结构）内后隔离阀门关闭。上炉筒上升并旋转晶棒下放完成取晶。完成全套动态演示后上炉筒重新回到起始位置，坩埚回到起始位置，主炉室灯光熄灭，再次单击启动按钮重新演示以上机械动态。

• 工艺过程

Ø 抽真空Ø 检漏Ø 调压Ø 熔料Ø 稳定Ø 熔接Ø 引晶Ø 放肩Ø 转肩Ø 等径Ø 收尾Ø 停炉Ø 氧化